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Burkert寶帝參展4月9日深圳國(guó)際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)及應(yīng)用展覽會(huì)

更新時(shí)間:2024-03-28      點(diǎn)擊次數(shù):1409
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展會(huì)介紹



2024年深圳國(guó)際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)及應(yīng)用展覽會(huì)(SZSEMI)將于4月9-11日在深圳福田會(huì)展中心隆重舉行,作為中國(guó)科技創(chuàng)新中心,深圳是我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)品的集散中心、應(yīng)用中心和設(shè)計(jì)中心。近年來(lái),國(guó)內(nèi)對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)重視力度逐漸加大,SZSEMI是華南地區(qū)乃至全國(guó)的全威性、專(zhuān)業(yè)化半導(dǎo)體行業(yè)品牌盛會(huì),本屆展會(huì)專(zhuān)注于整合半導(dǎo)體行業(yè)創(chuàng)新產(chǎn)品、技術(shù)、解決方案,為半導(dǎo)體行業(yè)的推廣和交流提供一站式平臺(tái)。




邀請(qǐng)函



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Bürkert 解決方案



Bürkert 有適用于半導(dǎo)體行業(yè)的精確控制的流體處理系統(tǒng)??筛鶕?jù)客戶(hù)的需求定制系統(tǒng),Bürkert 涵蓋了整個(gè)半導(dǎo)體制造工藝過(guò)程中從單個(gè)產(chǎn)品組件到實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)調(diào)控的緊湊型系統(tǒng)解決方案,再到實(shí)現(xiàn)工藝過(guò)程的自動(dòng)化、數(shù)字化。從空間要求、安裝條件以及機(jī)械、電氣和通信接口,無(wú)論是單個(gè)產(chǎn)品還是整體系統(tǒng)都可以wan美適配您的半導(dǎo)體工藝流程。

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濕法工藝

Bürkert 用于電導(dǎo)率、pH 值和流量測(cè)量的產(chǎn)品可為您在濕法蝕刻工藝中提供優(yōu)異的解決方案。此外,隔膜閥可以用于控制濕法蝕刻工藝中的工藝流體。


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物理氣相沉積 ( PVD )

化學(xué)氣相沉積 ( CVD )

Bürkert 冷卻系統(tǒng)結(jié)構(gòu)緊湊,可為您的設(shè)備量身定制。


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氮封系統(tǒng)

Bürkert 自動(dòng)氮?dú)庥?jì)量添加解決方案具有可選的液位和流量測(cè)量功能,可防止去離子水污染,并確保超純水的電阻值穩(wěn)定保持在 18.3MΩ*CM。


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二氧化碳碳酸化器

Bürkert 系統(tǒng)將二氧化碳精確地計(jì)量添加到用于晶圓切片機(jī)或工藝過(guò)程的水中。



真空泵

Bürkert進(jìn)氣系統(tǒng)能夠可靠地監(jiān)測(cè)和控制

氬氣進(jìn)入腐蝕性氣體可能干擾

或損壞泵功能的區(qū)域。



尾氣處理

Bürkert 系統(tǒng)可在大流量范圍內(nèi)精準(zhǔn)
控制燃?xì)馀c氧氣的比例。



分選測(cè)試?yán)鋮s

Bürkert 比例閥 / 流量?jī)x表精確控制

冷卻/加熱回路中的水的流量。


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期待您蒞臨展會(huì)現(xiàn)場(chǎng)交流

Bürkert展位號(hào):1E 155



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